上方自研G8.6代新型显示PVD装备进入生产状态

据浙江在线报道，上方电子自主研发制造的中国首套国产半导体显示核心装备——8.6代新型显示PVD（物理气相沉积）设备，今年上半年顺利交付该显示屏生产企业，最近正式进入生产状态。

据悉，上方电子之前已成功研发出5.5代半导体显示PVD设备。从2014年开始，在国家发改委和工信部联合立项支持的国家装备国产化项目支持下，公司主攻8.5代半导体显示PVD设备的研发和产业化，还顺利完成8.6代新型显示PVD的研发，并交付国内显示屏生产企业。

据了解，PVD设备是用于生产显示面板的高端设备。我国是全球最大的显示屏生产国，但显示屏生产过程中用到的PVD等关键技术设备始终被美国和日本公司垄断。直到2018年，上方电子在国内成功完成8.6代PVD设备（8.5代升级后的产品）的研发，逐步打破这一行业的国外垄断。

实现高端装备的突破并不容易。上方电子100多名员工中，研发人员占百分之四十。其自研的PVD设备从5.5代升级到8.6代，设备的镀膜面积增加了4倍多，涉及的零部件高达1.2万个，需用到物理、机械、机电等六七门交叉学科，在攻克上万个技术难点后，PVD设备实现了功能性纳米薄膜材料在大尺寸玻璃基板上的连续生产，纳米薄膜均匀性在5%以内，材料利用率超过80%，主要指标达到国际先进水平。目前，该设备已获得17项国家发明专利。

“8.6代PVD设备的核心零部件镀膜源之前主要依赖进口。”公司技术总监麻春雷介绍，PVD设备研发最难的就是镀膜源开发，为了攻克难题，上方电子成立了由技术、采购、品质等组成的跨部门专项工作组，从机械设计、机械制造、装机验证到方案优化，持续迭代升级，历时半年，成功开发了首款镀膜源样机，实现核心技术自主研发。