近日，国家大基金再次出手投资集成电路设备企业。
国家企业信用信息公示系统显示，1月7日睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励科学仪器”）发生股权变更，新增国家集成电路产业投资基金股份有限公司（以下简称“国家大基金”）、上海同祺投资管理有限公司、海风投资有限公司3家股东；与此同时，注册资本由1.18亿元变更为3.10亿元。
根据天眼查信息，此次国家大基金等入股后，目前睿励科学仪器的第一大股东为上海浦东新区国资委旗下的上海浦东新兴产业投资有限公司，持股比例20.75%；第二大股东为睿励科学仪器董事长及法定代表人吕彤欣所持有的上海盈赢微电子技术有限公司，持股比例13.99%。
这次新增的3家股东上海同祺投资管理有限公司、国家大基金、海风投资有限公司依次位列第三、第四、第五大股东，其中国家大基金认缴出资额为3758.24万元，持股比例12.12%。
近半年来，国家大基金不止一次投资集成电路设备企业。2019年9月，国家大基金投资入股精测电子旗下专注于半导体测试设备的子公司上海精测；同年10月，国家大基金与中科仪签署协议，战略投资中科仪真空干泵产业化升级。
如今，国家大基金再次将目光聚焦于设备领域，正式将睿励科学仪器纳入“国家队”。
资料显示，睿励科学仪器成立于2005年，致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。
据中微公司此前指出，睿励科学仪器自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证，在3D存储芯片上达到64层的检测能力。
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