上海市真空学会组织召开 《大尺寸高端氧化铟锡（ITO）靶材关键技术开发及产业化》 技术成果鉴定会

2019年5月25日，受上海大学委托，由上海市真空学会组织的专家评审组，在上海大学平板中心会议室主持召开了由上海大学、广西晶联光电材料有限责任公司、复旦大学、洛阳丰联科绑定科技有限公司合作研发的“大尺寸高端氧化铟锡（ITO）靶材关键技术开发及产业化”技术成果鉴定会。项目围绕高端ITO靶材大尺寸、高密度与低结瘤的技术难题，开展了应用于平板显示的大尺寸靶材关键技术及产品的研发与产业化。主要解决了粒径可控的ITO粉末制备、大尺寸ITO靶材坯体成型、超高密度ITO靶材烧结、高焊合率背铟绑定及非晶化镀膜等关键技术，形成了具有自主知识产权的大尺寸ITO靶材制造整体技术。